第198章
补天的熔炉,已经架起。
剩下的,就是将那些最坚硬的“五色石”
,投入到熊熊的烈火之中,进行千锤百炼。
没有人知道,这条路,要走多久。
也没有人知道,这条路上,会遇到多少艰难险阻。
但所有人的心中,都燃起了一团火。
那团火,名叫希望。
“女娲计划”
的熔炉,点燃了所有人的激情,但激情并不能直接转化为成果。
当来自不同国家、拥有不同文化背景和技术理念的顶尖人才,真正在一个屋檐下开始协同工作时,最初的新鲜感和使命感,很快就被现实的摩擦所取代。
计划启动后的第一个月,问题就爆发了。
爆发点,是整个光刻机系统中,技术难度最高、也最核心的部件之一——承载着硅晶圆,需要以纳米级精度进行超高速移动的“晶圆工作台”
。
“女娲计划”
的主实验室里,气氛凝重得仿佛能拧出水来。
一边,是以赫尔曼·施耐德为首的德国工程师团队。
另一边,是以埃里克·詹森为首的荷兰工程师团队。
中国的工程师们,则站在中间,左右为难,神情焦虑。
两拨人中间的桌子上,摆着两套截然不同的设计方案。
“我再说一遍,我们必须采用气浮轴承方案!”
赫尔曼的声音,像他手中的游标卡尺一样冰冷而精确,“这是目前最成熟、最可靠的技术。
我们有完整的理论数据,有几十年的应用经验,它的误差和稳定性,是完全可控的!
我们不能在一个投资数十亿的项目上,拿不成熟的技术去冒险!”
他的面前,是一份厚达数百页的设计图纸,上面每一个线条,每一个数据,都透露着德意志工业的严谨与厚重。
这是“安全”
的方案,是教科书式的方案,但它的缺点也同样明显——移动速度和加速度受限于空气黏滞性,存在一个物理上限,这会直接影响到未来光刻机的生产效率。
“狗屎!
可控的垃圾,还是垃圾!”
埃里克毫不客气地反驳道,他那头乱糟糟的金发,因为激动而上下跳动,“用空气?我们在造一台21世纪的机器,不是19世纪的蒸汽机!
气流是你能完全控制的吗?温度、湿度、灰尘,任何一点微小的变化,都会导致灾难性的后果!”
他指着自己面前那份草图一样的设计稿,上面画满了复杂的磁场线和控制回路。
“磁悬浮!
这才是未来!
用超高精度的电磁铁,构建一个无接触、无摩擦的运动平台!
它的速度,它的加速度,在理论上,可以比气浮方案高出十倍!
十倍!
这意味着我们的生产效率,将是全世界最高的!”
埃里克的方案,是天才的构想,是疯狂的跃进。
但它同样面临着巨大的难题——如何精确控制上百个电磁铁的磁场强度,来实现纳米级的平稳运动?这需要极其复杂的控制算法和强大的运算能力,在1980年代,这几乎是一个不可能完成的任务。
“理论上?我只相信数据!”
赫尔曼吹胡子瞪眼,“你的理论,能保证在每秒移动一米的速度下,平台的抖动幅度小于5纳米吗?你的算法,能应付得了电磁干扰和热漂移吗?这简直是拿整个计划在赌博!”
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